设备采用气缸、漏气测试仪、密封圈组合实现功能,具有自动进行压合待测品(DUT),模拟待测品的工作环境,测试相关参数、判定待测品好坏的功能。
功能特点
- 独创的 “FPGA加高速ADC来捕获瞬态小波压差曲线算法” 来确保测量精度与可靠性;
- 1~15s 快速检测;
- 压力精度精确到 1Pa;
- 流量精度精确到 0.1 SCCM;
- 一键式操作。
结构特点
- 一体成型的密封腔体;
- 高性能压力与流量检测仪;
- 精密的压力控制系统;
- 模块化设计。